直線固晶機(jī)案例視頻

高精度的耦合YZ平臺(tái)，可在Y和Z反向運(yùn)動(dòng)長(zhǎng)行程

- Y軸行程最大可至200mm

- Z軸行程最大可至50mm

- 低運(yùn)動(dòng)負(fù)載(Z軸定子不會(huì)隨著運(yùn)動(dòng)而成為移動(dòng)負(fù)載)

- Y和Z方向的超高加速度